CS Clean Systems

CS Clean Systems is uw betrouwbare leverancier van droge gas scrubbers voor toepassing in de halfgeleiderindustrie en aanverwante hightech-industrieën en R&D toepassingen. 

De scrubber-technologie, welke voor een zeer efficiënte reiniging zorgt, wordt al meer dan 30 jaar toegepast voor het afvangen van corrosieve, brandbare en hoog toxische gassen uit uitlaatgasstromen.  CS Clean Systems zorgt niet alleen voor de levering en installatie van de systemen, maar verzorgt vanuit het Benelux Service Centre ook het onderhoud en de refill van de installatie.

Image
This image for Image Layouts addon

Semiconductor productie

Scrubbers voor o.a. Ion implanters, plasma etching and CVD tools.

This image for Image Layouts addon

Semiconductor productie

Gas reinigers voor MOCVD, CIGS Photovoltaic processen.

This image for Image Layouts addon

Specialty gasses

Reinigings- en gascabinet oplossingen voor o.a. SF6, CF4, SiH4.

This image for Image Layouts addon

R & D

Scrubbers en gasreinigers voor kleine toepassingen en incidenteel gebruik.

Unieke scrubber-technologie

De  uiterst onderhoudsvriendelijke scrubbers zorgen voor en zeer efficiënte reiniging tot op het laagste PPM niveau. Veel van onze systemen worden dan ook bewaakt met een end-point gas detector.

Lees meer

De systemen van CS Clean Systems maken gebruik van de geavanceerde CLEANSORB chemisorptie-technologie, waarmee een ongeëvenaarde gasreiniging wordt gerealiseerd in combinatie met een eenvoudige bediening.

De droge chemisorptiesystemen gebruiken geen elektriciteit, water of brandstof. Bovendien is er geen verontreiniging van kostbare watervoorraden door lozing van verontreinigd afvalwater.

Eén kolom CLEANSORB-granulaat bindt doorgaans enkele duizenden liters gevaarlijk gas tot veilige, vaste bijproducten. Gebruikte CLEANSORB-kolommen worden niet weggegooid, maar opnieuw gevuld met vers absorberend materiaal en leveren minimale hoeveelheden afvalproduct op.

CLEANSORB-granulaat zet gevaarlijke gassen, bij omgevingstemperatuur, om in stabiele anorganische zouten. Dit is de meest hoogwaardige en milieuvriendelijke zuiveringstechnologie voor afvalgas-stromen. Er is een brede range van CLEANSORB-kolomformaten beschikbaar om aan de behoeften van al onze klanten te voldoen, van kleinschalige universitaire onderzoeksinstellingen tot en met 24-uurs wafer-productiefaciliteiten.

CS Clean Systems heeft meer dan 30 jaar ervaring in droge chemisorptie-technologie en biedt geoptimaliseerde oplossingen voor alle procestoepassingen.

This image for Image Layouts addon

CLEANSORB

Droge gas scrubber systemen voor procesafvalgassen.

Lees meer
This image for Image Layouts addon

CLEAN-PROTECT

Beschermt tegen onverwachte schadelijke gasuitstoten

Lees meer
This image for Image Layouts addon

CLEANVENT

Minicartridges voor ontluchtingsleidingen van gaskasten.

Lees meer

Services & Support

Wij verzorgen als Service Centre het onderhoud en de refill van de installatie. In essentie komt het erop neer dat wij de scrubber kolommen binnen het systeem voor u wisselen waarbij wij afspraken maken over de responsetijd, zodat de maximale uptime van uw systemen gegarandeerd is.

Gassen

De gaswassers van CS Clean Systems kunnen voor een grote verscheidenheid aan toepassingen en gassen worden ingezet. Hierbij bestaat het reinigen van meerdere gassen in één installatie ook tot de mogelijkheden.

Bekijk gassen naar proces

Bekijk gassen per proces
Process Application Typical Gases or Liquid Precursors Used
   
Plasma Etch
Metal Etch Cl2, BCl3, HCl, CF4, SF6
Poly Silicon Etch Cl2, HBr, Br2, SF6, CF4, NF3, C4F8
Nitride Etch, Oxide Etch CF4, CHF3, C2F6, C3F8, C4F8, CH2F2, NF3, SF6, O2
Tungsten Etchback SF6
   
Ion Implantation
High, Medium, Low AsH3, PH2020-10-08-sgs-gas-0918, BF3, P, As, Sb, Sb(CH3)3, GeH4, GeF4, TMGa, GaI3
   
ALD, LPCVD, PECVD, HDP-CVD
TEOS, undoped TEOS, O2, O3
BPSG TEOS, O3, TMP, TMB, SiH4, PH3, B2H6
Poly-Si (doped) SiH4, (AsH3, PH3)
Silicon Germanium SiH4, GeH4
Oxide SiH4, O2
Nitride, (doped) SiH4, NH3, (TMP, TMB, SiH4, PH3, B2H6)
Oxynitride, (doped) SiH4, NH3, N2O, (TMP, TMB, SiH4, PH3, B2H6)
Low-k dielectrics 1MS, 2MS, 3MS, 4MS, DMDMOS
High-k dielectrics TMA, TEMAH, TDEAH, TAETO, PET
Gate Electrodes MPA, Ru(Etcp)2, PEMAT
Copper & Cobalt CVD Cu(hfac)(TMVS), Cobaltocene and related metalorganics
Tungsten (Silicide) WF6, SiH4, (DCS)
Barrier Layers TiCl4, NH3, TDMAT, PDMATa, PDEATa, TAETO, W(CO)6
   
Plasma Cleaning
PFC plasma C2F6, C4F8, NF3
Remote NF3 plasma F2
   
Epitaxy  
Silicon (doped) DCS, TCS, SiH4, HCl, (AsH3, PH3, B2H6)
Silicon-Germanium SiH4, GeH4, CBr4, 1MS, 2MS, 3MS, HCl
Silicon-Carbide (SiC)  SiH4, TMAI, HCl
   
Compound Semiconductors, Optoelectronics, III-V on Si
GaAs, InP MOCVD (OMVPE) AsH3, PH3, TMAl, TMGa, TMln, TBA, TBP, SbH3, HCl, Cl2
GaN MOCVD Chamber Clean HCl, Cl2
MBE (MOMBE) As, P, AsH3, PH3, SbH3
III-V Etch Cl2, BCl3, HBr, SiF4, SF6, CH4, GaCl3, InCl3, AsH3, O2
   
Photovoltaics
Concentrator Photovoltaics PH3, AsH3, lll-V metalorganics, SiH4, GeH4
CIGS H2S, H2Se

Bekijk de brochure

Neem contact op!

Vacatures

Bekijk vacature ‘Technical Support Engineer’

Technical Support Engineer

 

Wat ga je doen?

In deze functie ben je met veel diverse werkzaamheden bezig. Op ons bedrijf in Heerhugowaard voer je het gehele proces van het legen, reinigen, hervullen en testen van onze scrubberkolommen uit. Je werkt deels op locatie bij onze klanten in de Benelux, waar je onze scrubbersystemen opstart en vervolgens onderhoudt. Aangezien er gewerkt wordt met chemische stoffen moet alles volgens de richtlijnen verlopen. Een juiste administratieve voorbereiding en afhandeling is part of the job.

 

Wie zoeken wij?

Voor deze rol zoeken wij iemand die het leuk vindt om de handen uit de mouwen te steken. Iemand die het leuk vindt om zowel hands-on op onze locatie te werken als onze klanten te bezoeken voor de servicewerkzaamheden en daar het visitekaartje van ons bedrijf te zijn. Je hebt een groot verantwoordelijkheidsgevoel en je hebt oog voor detail. Reizen binnen de Benelux is een onderdeel van de functie. Daarnaast beschik je over de volgende competenties en kennis:

  • Opleiding Werktuigbouwkunde op MBO-niveau
  • Affiniteit of kennis van chemische processen én de interesse om je hier verder in te verdiepen is in jouw voordeel
  • Zelfstandig en nauwkeurig
  • Flexibel
  • Goede kennis van de Nederlandse en Engelse taal in woord en geschrift is vereist
  • Teamspeler

 

Wat bieden wij?

Een innovatieve organisatie, een klein maar fijn team en een veelzijdige en uitdagende baan. Prima primaire en secundaire arbeidsvoorwaarden.

 

Voor wie ga je werken?

CS Clean Systems is in 1986 opgericht in Duitsland. Het Nederlandse service center, CS Clean Systems Benelux BV, dat verantwoordelijk is voor de gehele Benelux, is gevestigd in Heerhugowaard. Het kleine team levert en serviced gaswasinstallaties aan met name klanten in de micro-elektronica industrie. Zij zorgen voor een veilige absorptie van verschillende toxische en corrosieve gassen. Onze klanten stellen hoge eisen aan de veiligheid van personeel, installaties en milieu.

 

Sollicitatie

Heb je interesse in deze functie? Dan maken wij graag kennis met jou! Stuur je sollicitatie met CV naar , dan nemen wij zo spoedig mogelijk contact met je op.

Contact details

CS Clean Systems Benelux B.V.
Maxwellstraat 5
1704 SG Heerhugowaard
Tel: +31 72 571 7666
Email:

More CS Clean Systems

©2021 CS Clean Systems Benelux B.V.